螺杆真空泵的工作原理和一般容积泵相同，由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。螺杆真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选螺杆真空泵，或者把油蒸气排到室外。
由于螺杆真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。螺杆真空泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的螺杆真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的螺杆真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。