双圆裂片式设计构思和现阶段时兴和运用的爱德华真空泵十分类似。实际上，某些初期的干泵设计构思观念就是说将爱德华真空泵累加起來。这类多级别设计构思促使汽体通道非常繁杂，而且每一級都必须很大总流量的N2具有稀释液和防护功效。一起，以便超过好的真空值，对各个的空隙有十分严苛的规定。或许，这类设计构思因为提升了內部的压缩比而促使其用电量相对性较低。
三叶圆裂片式设计构思和双圆裂片式设计构思的基本原理相同，仅仅在转动整圈上将汽体分成三份而并不是像双圆裂片式分成二份。这二种设计构思拥有同样的优势与劣势。以便深化减少用电量，在传动系统一部分有的真空泵厂家采用2个直流马达，但这也会造成扭距减少，重启的工作能力—降低。同双圆裂片式设计构思相同，三叶圆裂片式设计构思的每一級都必须很大总流量的N2来具有稀释液和防护功效。
组合型(罗次+爪)设计构思用罗次来提升在较低工作压力下的抽真空高效率，用爪来提升在较高工作压力下的抽真空高效率。它的基本概念和汽体通道同前边详细介绍的圆裂片式设计构思相同。也一些生产厂家将之后一級改成星形设计构思，那样能够 在转动整圈上将汽体分成五份，如同三圆裂片式设计构思能够 将其分成三份。一样，在许多加工工艺中，组合型设计构思的每一級都必须很大总流量的N2来具有稀释液和防护功效。
在外界缩小型螺杆式设计构思中，应用两只等距丝杆。这促使內部压缩减到小，一起促使汽体通道短也简易。那样，汽体在泵身体滞留的時间也短。尽管这类设计构思因为降低了內部的压缩比而促使其用电量相对性较高，但在许多繁杂的半导体材料加工工艺中主要表现出的可靠性。这类单极设计构思促使其对N2使用量的规定也十分小并且简易，那样就促使其在不一样加工工艺中有非常好的公差配合。在许多清理的加工工艺中乃至能够 无需N2。
除开应用两只非等距丝杆之外，內部缩小型螺杆式设计构思和外界缩小型螺杆式设计构思的基本概念十分类似。丝杆间容量的持续减少促使其內部造成缩小。这类设计构思因为造成內部缩小而促使其用电量减少到同离心泵非常的水准。但在许多加工工艺中，这类內部缩小同离心泵相同，非常容易导致汽体在泵身体的物理学转变而造成干固或汽化。